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無(wú)水氧化硼為高純度氧化硼,三氧化二硼(又稱氧化硼、硼酸酐),無(wú)色玻璃晶體或粉末,無(wú)結(jié)晶水,熔點(diǎn)450℃。具有很強(qiáng)的吸水性,會(huì)轉(zhuǎn)化為硼酸,因此應(yīng)保存在干燥的環(huán)境中,密封保存,防止吸水性變差導(dǎo)致含量減少。一般為無(wú)色玻璃狀氧化硼晶體或粉末狀,是主要的氧化硼之一,廣泛用于硅酸鹽分解助溶劑、半導(dǎo)體材料制備過(guò)程中的摻雜劑、有機(jī)合成中的酸催化劑、涂料過(guò)程中的耐火添加劑制備和制備硼元素和各種硼化物等,但作為此類試劑的使用,例如在Ⅲ-Ⅴ化合物半導(dǎo)體的晶體制備過(guò)程中,如砷化鎵、磷酸銦、氮化鎵、等,需要無(wú)水高純氧化硼作為液體密封劑,要求氧化硼純度≥99.999%,含水量≤150ppm。