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寶石級大顆粒氮化硼

文章出處: 天元航材    責(zé)任編輯: 天元化工新材廠家    發(fā)布時間:2022-04-29 10:00:39    點擊數(shù):3193    【
[導(dǎo)讀]: 天元航材化工原料廠家的小編今天給大家介紹下關(guān)于寶石級大顆粒氮化硼的相關(guān)介紹,我們是一家生產(chǎn)銷售白石墨,六方氮化硼等化工原料的廠家,已有50年的生產(chǎn)工藝經(jīng)驗,那么您了解寶石級大顆粒氮化...

寶石級大顆粒氮化硼

天元航材化工原料廠家的小編今天給大家介紹下關(guān)于寶石級大顆粒氮化硼的相關(guān)介紹,我們是一家生產(chǎn)銷售白石墨,六方氮化硼等化工原料的廠家,已有50年的生產(chǎn)工藝經(jīng)驗,那么您了解寶石級大顆粒氮化硼嗎?一起來看看這么閃亮亮名稱的產(chǎn)品吧!

說到藍寶石,不知道大家有了解過嗎?六方氮化硼在藍寶石的中的應(yīng)用十分必要,接下來一起來看看!
藍寶石在泰國、斯里蘭卡、馬達加斯加、老撾、柬埔寨、中國山東長樂、海南、重慶江津石筍山均有發(fā)現(xiàn),其中最稀有的產(chǎn)地應(yīng)該屬于克什米爾地區(qū)的藍寶石,而緬甸則是出產(chǎn)上等的地方藍寶石現(xiàn)在最多。藍寶石是除紅寶石以外的其他顏色剛玉寶石的總稱。藍寶石的成分是氧化鋁,呈藍色是因為它含有微量元素鈦(Ti4+)或鐵(Fe2+)。由于藍寶石的廣泛應(yīng)用,例如LED、太陽能電池、MOS管、單晶硅芯片、二極管等。如果六方氮化硼白墨可以直接穩(wěn)定地轉(zhuǎn)移到藍寶石襯底上,將更有利于測試六方氮化硼白墨的性能和制備新的光電器件。

由于六方氮化硼白石墨具有非常好的性能,如高熱導(dǎo)率、高機械強度、高化學(xué)穩(wěn)定性、高電阻等,使得六方氮化硼白石墨具有非常廣闊的應(yīng)用前景,它可用于熱界面材料,如LED、LCD、TV、手機、電腦、電信設(shè)備等,也可用作石墨烯的涂層和基材。六方氮化硼白石墨納米薄膜的合成方法有多種,如微機械剝離法、溶液法、MOCVD法、APCVD法、LPCVD法等。目前,通過CVD法合成六方氮化硼白石墨,以不同種類的金屬為基材。

氮化硼H型,六方氮化硼H-BN

接下來小編給大家介紹下一種寶石級大顆粒氮化硼的生產(chǎn)步驟
1、采用可控方法在Cu箔上生長六方氮化硼薄層:采用三溫區(qū)LPCVD系統(tǒng),以硼氮烷粉末為反應(yīng)源。首先,將銅箔放入石英舟中,推入CVD反應(yīng)室加熱溫度區(qū),將硼烷粉放入內(nèi)置石英管中,對腔體進行抽真空。然后在管式爐中加熱石英反應(yīng)室。當三區(qū)反應(yīng)室溫度達到設(shè)定值(800~1000℃)時,先通入H2進行表面氧化處理,繼續(xù)提高三區(qū)的生長溫度,第一區(qū)的前驅(qū)體同時加熱,達到第一區(qū)溫度(60~800℃)和第三區(qū)溫度(1000~1050℃)的設(shè)定值。來自石英管的硼烷氣體通過配比和Ar輸送到反應(yīng)室進行反應(yīng),反應(yīng)結(jié)束后,將樣品拉出加熱區(qū),以HjPAr作為保護氣體,最后將樣品移出達到室溫;可以通過光學(xué)顯微鏡和掃描電鏡觀察到銅箔上的六方氮化硼薄層。
1、載氣硼烷離開石英管后,將銅箔基板以石英管為中軸彎曲成半圓柱形,折疊成石英舟。將其推入CVD反應(yīng)室加熱溫度區(qū),將室內(nèi)氣壓抽至10_3TORr左右,然后用管式爐加熱石英反應(yīng)室。先通入H2進行表面脫氧處理,然后繼續(xù)提高三區(qū)的生長溫度,同時加熱一區(qū)的前驅(qū)體,一區(qū)溫度設(shè)定值(60~80℃),達到第三區(qū)溫度(1000~1050℃)。HjPAr輸送產(chǎn)生的硼烷氣體從石英管輸送到反應(yīng)室進行反應(yīng),直到完全覆蓋銅箔。反應(yīng)結(jié)束后取出銅箔,用光學(xué)顯微鏡和掃描電鏡對銅箔表面進行檢測??梢杂^察到生長在銅箔上的大面積六方氮化硼薄層。
3、生長有六方氮化硼在Cu箔上通過旋涂一層薄薄的pmma層,然后用過硫酸銨溶解Cu基板,回收轉(zhuǎn)移工具將pmma/六方氮化硼薄膜轉(zhuǎn)移到基板上,最后用丙酮浸泡溶液中,去除樣品表面的p_a層,完成基片晶圓級大六方氮化硼的制備。
天元航材化工原料廠家的小編今天就給您介紹到這里了,有疑問的可以電話咨詢小編我!
參考來源:http://www.xjishu.com/zhuanli/24/CN104532209.html
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