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半導(dǎo)體參雜用的三氧化二硼有什么要求

文章出處：三氧化二硼廠家責(zé)任編輯：天元航材發(fā)布時間：2020-11-05 10:05:34 點擊數(shù)：92 【大 中 小】

[導(dǎo)讀]：首先，要保證摻雜劑的純度，三氧化二硼可以用涂布法?？梢杂肧iO2的乳膠--即烷氧基硅烷水解聚合物，作為有一定黏度的涂布的材料。然后，加入溶劑(乙醇，酯類)與三氧化二硼相調(diào)和，涂布于半導(dǎo)體上...

首先，要保證摻雜劑的純度，三氧化二硼可以用涂布法?？梢杂肧iO2的乳膠--即烷氧基硅烷水解聚合物，作為有一定黏度的涂布的材料。然后，加入溶劑(乙醇，酯類)與三氧化二硼相調(diào)和，涂布于半導(dǎo)體上。

一般而言，此類半導(dǎo)體是Si 材料。對于化合物半導(dǎo)體，問題就沒有那樣簡單，如III-V、II-VI 、IV-VI族化合物半導(dǎo)體等，就需要另外方法去處理。如離子注入等等。

僅以硅材料而言，方法還有：如，三氧化二硼、BN的高溫氧化。也有用硼酸三甲酯、乙硼烷、三溴化硼等等的氧化，沉淀和擴(kuò)散。但是摻雜劑的純度一定要高。

用做硅酸鹽分解時的助融劑。半導(dǎo)體材料的摻雜劑，耐熱玻璃器皿和油漆耐火添加劑，在冶金工業(yè)上用于合金鋼的生產(chǎn)，用做有機(jī)合成的催化劑，高溫用潤滑劑的添加劑，也可用于環(huán)保方面。

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